技术参数:
双电测四探针测试仪;技术指标:测量范围:电阻率:10(-4)~10(5)Ω.cm(可扩展);方块电阻:10(-3)~10(6)Ω/□(可扩展);电导率:10(-5)~10(4)s/cm;电阻:10(-4)~10(5)Ω;可测晶片厚度:≤3mm;可测晶片直径:140mmX150mm(配sku:12454.2型测试台);200mmX200mm(配sku:12454.3型测试台);400mmX500mm(配sku:12454.4型测试台);恒流源:电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调;数字电压表:量程及表示形式:000.00~199.99mV;分辨力:10μV;输入阻抗:>1000MΩ;精度:±0.1% ;显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;四探针探头基本指标:间距:1±0.01mm;针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%;探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;探针压力:5~16 牛顿(总力);四探针探头应用参数:(见探头附带的合格证);模拟电阻测量相对误差(按JJG508-87进行):0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字;整机测量最大相对误差(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试):≤±4%;整机测量标准不确定度:≤4%;计算机通讯接口:并口;标准使用环境:温度:23±2℃;相对湿度:≤65%;无高频干扰;无强光直射;产地:中国
产品描述:
尚尤提供此款双电测四探针测试仪;
采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新技术,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换,在计算机控制下进行两次电测量,能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正,显著降低了几何因素影响,提高了测量结果的准确度。
此款为双电测,必须带软件使用,另有单电测,参见sku:237397