技术参数:
四探针测试仪;技术指标:测量范围:电阻率:10-4~105 Ω.cm(可扩展);方块电阻:10-3~106 Ω/□(可扩展);电导率:10-5~104 s/cm;电阻:10-4~105 Ω;可测晶片直径:140mmX150mm(配sku:237397.2型测试台);200mmX200mm(配sku:237397.3型测试台);400mmX500mm(配sku:237397.4型测试台);恒流源:电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调;数字电压表:量程及表示形式:000.00~199.99mV;分辨力:10μV;输入阻抗:>1000MΩ;精度:±0.1% ;显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;四探针探头基本指标:间距:1±0.01mm;针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%;探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;探针压力:5~16 牛顿(总力);四探针探头应用参数:(见探头附带的合格证);模拟电阻测量相对误差:(按JJG508-87进行):0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字;整机测量最大相对误差(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试):≤±5%;整机测量标准不确定度:≤5%;计算机通讯接口:并口;标准使用环境:温度:23±2℃;相对湿度:≤65%;无高频干扰;无强光直射;产地:中国
产品描述:
尚尤提供此款数字式四探针测试仪;
该仪器为多用途综合测量设备,运用四探针测量原理,按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器.
组成部分:由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成.
测量数据既可由主机直接显示.亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析.然后以表格.图形方式统计分析显示测试结果.
此款为单电测,不带软件可使用,另有双电测,参见sku:12454