MOS试剂_化学品安全技术说明书(MSDS)_MROS_工业资源_工业知识_MSDS
   
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MOS试剂

中文名称: MOS试剂 
英文名称: metal-oxide-semiconductor reagent 
CAS登录号:  
分子式:  
分子量:  
密度:  
熔点:  
沸点:  
闪点:  
蒸气压:  
粘度:  
折射率:  
毒性LD50(mg/kg):  
性状:  
溶解情况:  
用途: 一类生产金属氧化物半导体电路专用的化学品,是一种高纯试剂。主要用于大规模、超大规模集成电路的研究和生产。 
制备或来源:  
消耗定额:  
其他: 其纯度要求单项金属离子杂质含量均在1E-7%~1E-9%范围内。而更重要的是控制产品内微粒杂质(即尘埃和不溶颗粒)的个数,应当符合美国材料试验学会(ASTM)“0”级标准,即对5-10微米大小的颗粒。每100毫升中最大允许在2700个以下,而对5微米大小的颗粒,要求在304个以下。 
包装及贮运:  
生产单位:  
中文标记:
英文标记:



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