二氯硅烷_化学品安全技术说明书(MSDS)_MROS_工业资源_工业知识_MSDS
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二氯硅烷
中文名称:
二氯硅烷
英文名称:
dichlorosilane
CAS登录号:
分子式:
SiH
2
Cl
2
分子量:
101.01
密度:
气体密度4.599g/L;液体相对密度1.42(-122℃)
熔点:
-122
沸点:
8.3
闪点:
蒸气压:
粘度:
0.307(7℃)
折射率:
毒性LD50(mg/kg):
性状:
常温常压下为无色气体,市售品为装在容器中的无色透明液体(压力0.03~0.18MPa)。
溶解情况:
用途:
主要用作半导体外延材料;化学蒸镀用气源。
制备或来源:
(1)硅和盐酸蒸气反应;(2)四氯化硅和甲醛反应。
消耗定额:
其他:
在潮湿空气中可以水解,而产生白色氯化氢烟雾。与空气形成爆炸混合物,爆炸极限4.1%~98.8%(体积分数)。能与格式试剂起反应。
包装及贮运:
生产单位:
中文标记:
二
英文标记:
d
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